エミッター

タングステン単結晶ニードルの表面をジルコニウムと酸素の吸着層で被覆し、タングステンの仕事関数を低下させたショットキーエミッター。単結晶LaB6カソードに比べ100倍以上の輝度を有しエネルギー幅も小さいため、低加速電圧でもプローブ径を絞ることが可能で、半導体材料・デバイスの表面観察用途に最適です。また放射電流が極めて安定で、かつ長寿命のため、半導体検査装置や電子線露光装置をはじめとしてさまざまな電子線応用機器に利用されています。

【特長】
高度なニードル加工技術により幅広いチップ先端曲率に対応できます。
ばらつきが小さく、再現性の良い電子放射特性が得られます。ご指定の電子銃への組み込みに対応できます。また、チップ、サプレッサ、引き出し電極が一体となったモジュール形態での提供も可能です。

溶接代替や異種材料の接合など、幅広く対応できます。

【その他のラインナップ】
LaB6カソードデンカエルミオン


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